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半導(dǎo)體專(zhuān)用真空烘箱 真空干燥箱 實(shí)驗(yàn)室烘箱
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半導(dǎo)體專(zhuān)用真空烘箱 真空干燥箱 實(shí)驗(yàn)室烘箱
一、產(chǎn)品概述:
真空干燥箱是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度,用作粉末干燥、材料退火處理、半導(dǎo)體處理、新能源電池試驗(yàn)、航天部件封裝試驗(yàn)、電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中脫泡、脫水,硬化干燥等。廣泛用于電子化學(xué)、農(nóng)業(yè)科研、環(huán)境保護(hù)等研究領(lǐng)域。
二、技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | DZF-620 |
內(nèi)膽尺寸(寬*深*高) | 470*450*450mm(可定制各種大?。?/span> |
容積 | 95L(可定制各種大?。?/span> |
溫度范圍 | 室溫~200℃ |
溫度波動(dòng)度 | 0.2℃ |
升溫速率 | 室溫~150C/30min |
降溫速率 | 150C~60C/30min |
真空度 | 極限 100Kpa~0.1KPa |
抽氣速率 | 02KPa/5min |
真空泄漏率 | 24h/0.7Kpa |
真空度釋放 | 5~15min |
氧濃度 | 1000ppm 以下 |
電壓 | 380V/50HZ |
功率 | 5500W |
三、產(chǎn)品特點(diǎn):
1、真空度、溫度自由調(diào)整,可在某一固定溫度和某段真空度范圍條件下自動(dòng)保持。
2、設(shè)備控制系統(tǒng)為全套臺(tái)達(dá)PLC控制,溫度均勻、真空度可靠。自動(dòng)記時(shí),當(dāng) 溫度升溫到設(shè)定值時(shí)設(shè)備開(kāi)始計(jì)時(shí),計(jì)時(shí)達(dá)到設(shè)定值時(shí),設(shè)備停止加熱,處于 真空保持。
3、數(shù)字獨(dú)立限溫保護(hù),接地保護(hù),漏電保護(hù),真空泵過(guò)熱保護(hù),循環(huán)電機(jī)過(guò)載保 護(hù)。
4、一次性澆注成型耐高溫硅橡膠門(mén)封條,確保良好真空度。
5、 內(nèi)加熱快速升溫水冷卻管道快速降溫。
6、數(shù)字壓力傳感器,旋片式油泵,氧含量濃度檢測(cè)。
7、控制邏輯:觸摸屏控 SSR 溫度接觸器運(yùn)行,抽氣運(yùn)行,放氣自動(dòng),溫度與真空度分段循環(huán)設(shè)置。
半導(dǎo)體專(zhuān)用真空烘箱 真空干燥箱 實(shí)驗(yàn)室烘箱
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